Kako se globalni poluvodički proces kreće prema naprednim čvorovima od 3 nm/2 nm, precizni titanijski materijali (ASTM B265/B348, stupanj 1/2/5 visoke-čistoće i legure titana) nadograđuju se od "pomoćnih materijala" do ključnih strateških materijala za proizvodnju poluvodiča, s osnovnim prednostima kao što je ultra-visoka čistoća, ultra-niska nečistoća, snažna toplinska stabilnost, otpornost na koroziju i ne-magnetska svojstva. Tržišna pozornost i potražnja istovremeno rastu.
Osnovni pokretač: Napredni procesi prisiljavaju nadogradnju materijala
Napredni poluvodički procesi (5 nm i manji) zahtijevaju tri glavna zahtjeva za materijale: nanometarsku preciznost, atomsku razinu čistoće i ekstremnu ekološku stabilnost:
-Titan ciljni materijal visoke čistoće (1. stupanj, čistoća veća od ili jednaka 99,999%/5N): PVD raspršeni materijal jezgre, koji se koristi za bakreni međuslojni barijerni sloj, kontaktni utikač, za sprječavanje difuzije bakrenih atoma od onečišćenja silicijskih pločica, izravno određujući prinos i izvedbu čipa, pogodan za cijeli 130-3nm proces.
-Precizne strukturne komponente (razred 2/5): radni stol stroja za litografiju, komora stroja za jetkanje, vakuumska prirubnica, robotska ruka za pločice itd., s niskim koeficijentom toplinske ekspanzije (8,6 × 10 ⁻⁶/ stupanj ) i temperaturnom fluktuacijom deformacije od samo 1/3 aluminijske legure, osiguravajući pozicioniranje na nanometarskoj razini točnost.
-Komponente otporne na koroziju (razred 7): Otporne na jaku kiselinu/halogenu koroziju u opremi za mokro jetkanje i čišćenje, bez onečišćenja metalnim taloženjem, pogodno za ekstremne radne uvjete visokog vakuuma i jake plazme.
Osnovne prednosti američkih standardnih titanskih materijala
1. Ultra visoka čistoća + ultra{2}}niske nečistoće: američki standardni titan visoke -čistoće 1. stupnja s kontroliranim nečistoćama kisika/dušika/ugljika<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Toplinska stabilnost+dimenzijska preciznost: niska toplinska vodljivost (21,9 W/(m · K)), mali koeficijent toplinske ekspanzije, tolerancija do ± 0,005 mm, glatkoća površine Ra Manje od ili jednako 0,4 μ m, pogodno za sastavljanje u nanoskali i vakuumsko brtvljenje.
3. Otpornost na koroziju+ne-magnetsko+nisko otpuštanje plina: sloj prirodnog oksida samo-zacjeljuje, otporan na Cl ₂/F ₂/koroziju jake kiseline; Nije magnetski i ne ometa precizne sklopove; Stopa ispuštanja zraka izuzetno je niska pod ultra-visokim vakuumom (UHV), čime se osigurava čistoća komore.
4. Lagana i velika čvrstoća: Gustoća od 4,51 g/cm ³ (40% lakši od nehrđajućeg čelika), vlačna čvrstoća stupnja 5 veća od ili jednaka 930 MPa, specifična čvrstoća dvostruko veća od nehrđajućeg čelika, pogodno za zahtjeve male težine pokretnih dijelova velike -brzine.
Scenariji temeljne primjene
-Materijal za ciljanje od titana visoke čistoće (1. stupanj): PVD taloženje raspršivanjem, koristi se za sloj barijere logičkog/skladišnog čipa i ljepljivi sloj, s veličinom globalnog tržišta od 1,87 milijardi američkih dolara 2024. i CAGR-om od 9,3% od 2026. do 2030.
-Vakuumska komora/prirubnica (razred 2): Vakuumski sustav za opremu za jetkanje i taloženje, otporan na visoki tlak, slabo ispuštanje plina i pouzdano brtvljenje.
-Precizna robotska ruka/krajnji efektor (Razred 5): prijenos pločica, lagana i velika-čvrstoća, precizno pozicioniranje i bez rasipanja čestica.
-Obloga/učvršćenje otporno na koroziju (7. stupanj): Oprema za mokri proces, otporna na jake kiseline kao što je HF/HCl, produljuje vijek trajanja opreme i smanjuje troškove održavanja.
Tržišni trend: domaća supstitucija+tehnološki iskorak
Proširenje globalnog kapaciteta poluvodiča (osobito u kineskom kopnu) potaknulo je brzi rast potražnje za preciznim titanijskim materijalima. Godine 2023. veličina tržišta kineskih preciznih dijelova od titana za poluvodiče premašit će 3 milijarde juana, s godišnjom stopom rasta od više od 25%. Ostvarena je stabilna masovna proizvodnja američkih standardnih preciznih titanskih materijala Grade 1/2/5 (uključujući ultra-tanku titansku foliju od 0,05 mm, ciljne materijale visoke-čistoće i precizne strukturne komponente), s tolerancijama i čistoćom koji su dosegli međunarodne napredne razine, što pomaže da se lanac industrije poluvodiča može neovisno kontrolirati.
Pod naprednim procesima i domaćom zamjenom pogona na dva kotača, precizni titanijski materijali koji zadovoljavaju američke standarde postali su temeljna podrška za nadogradnju industrije poluvodiča. U budućnosti će se nastaviti probijati prema većoj čistoći (6N), tanjim specifikacijama (manje od ili jednako 0,05 mm) i preciznijoj strojnoj obradi (± 0,002 mm).
Zatražite ponudu
Email:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
